Центр коллективного пользования научным оборудованием Федерального государственного бюджетного учреждения науки Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (ЦКП ИПТМ РАН) был создан в 2009 г. с целью улучшения обеспечения проведения и выполнения фундаментальных и прикладных научных исследований в области микро- и наноэлектроники. Основной задачей ЦКП ИПТМ РАН является повышение эффективности использования имеющегося аналитического и технологического оборудования, необходимого для решения научных задач, определенных приоритетным направлением развития науки, технологий и техники РФ. Научное и технологическое оборудование ЦКП ИПТМ РАН используется для выполнения планов фундаментальных научных исследований Института и исследований по государственным программам и проектам в области микро- и наноэлектроники, а также при проведении совместных научно-исследовательских и опытно-конструкторскиx работ на основе договоров и контрактов с организациями-заказчиками.

Основные решаемые задачи:

• анализ элементного состава различных материалов методами масс-спектрометрии и атомной эмиссии с индуктивно связанной плазмой, а также и с помощью систем энергодисперсионного анализа в растровых и просвечивающих электронных микроскопах;
• исследование структурных и физических свойств материалов в растровых, просвечивающих электронных микроскопах и в атомно-силовом микроскопе;
• рентгеновская дифрактометрия и рефлексометрия;
• электронная литография, фотолитография;
• исследование оптических спектров (комбинационное рассеяние, ИК, катодолюминесценция).